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沿 革
成立碩士班（首屆所長：吳煌榮教授）
成立大學部 （首屆系主任：蕭庭郎教授）
成立博士班
大學部增設為雙班
整併光機電整合工程研究所為光機電整合工程碩士班
大學部增設光機電整合工程組
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歷屆所長、系主任
| 任次 |
姓名 |
任期 |
| 第一任所長 |
吳煌榮 教授 |
民國80年8月至民國81年7月 |
| 第二任所長 |
蕭庭郎 教授 |
民國81年8月至民國82年7月 |
| 第一任系主任 |
蕭庭郎 教授 |
民國82年8月至民國85年7月 |
| 第二任系主任 |
蕭庭郎 教授 |
民國85年8月至民國88年7月 |
| 第三任系主任 |
陳政雄 教授 |
民國88年8月至民國91年7月 |
| 第四任系主任 |
宋震國 教授 |
民國91年8月至民國93年5月 |
| 第五任系主任 |
謝文馨 教授 |
民國93年8月至民國96年7月
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| 第六任系主任 |
林榮信 副教授(代理)
馮展華 教授
劉德騏 教授(代理)
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民國96年8月至民國97年1月
民國97年2月至民國98年1月
民國98年2月至民國98年7月
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| 第七任系主任 |
鄭志鈞 教授 |
民國98年8月至民國101年7月 |
| 第八任系主任 |
劉德騏 教授 |
民國101年8月至民國104年7月 |
| 第九任系主任 |
敖仲寧 教授 |
民國104年8月至民國107年7月 |
| 第十任系主任 |
陳世樂 教授 |
民國107年8月至民國110年7月 |
| 第十一任系主任 |
林派臣 教授(現任) |
民國110年8月至今 |
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現有學生
大學部111學年度第一學期，不含休學，111學年度機械系分為二組(機械工程組AB二班+光機電整合工程組A班)
| 班別╱年級 |
大一 |
大二 |
大三 |
大四(含)以上 |
| A |
機械工程組34(27男, 7女)；光機電整合工程組27(21男,6女) |
61(54男, 7女) |
45(37男, 8女) |
50(44男, 6女) |
| B |
36(32男, 4女) |
50(44男, 6女) |
38(33男, 5女) |
47(42男, 5女) |
| 小 計 |
97 |
111 |
83 |
97 |
| 總 計 |
388 |
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研究所級111學年度第一學期, 不含休學，碩士班人數為機械碩士班+光機電整合工程碩士班
| 班別╱年級 |
碩一 |
碩二 |
碩三(含)以上 |
博一 |
博二 |
博三(含)以上 |
| A |
102(75+27) |
99(70+29) |
17(15+2) |
8(8男) |
5(4男,1女) |
26(24男,2女) |
| 小 計 |
218 |
39 |
| 總 計 |
257 |
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師資員額111學年度第一學期
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教授 |
副教授 |
助理教授 |
合聘教授 |
兼任教授 |
兼任副教授 |
兼任助理教授 |
兼任講師 |
| 教師數 |
17 |
5 |
5 |
2 |
3 |
0 |
2 |
1 |
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行政人力
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組員 |
專案工作人員 |
專任助理 |
| 人數 |
1 |
4 |
1 |
| 小計 |
1 |
4 |
1 |
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